CIF生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)

簡要描述：CIF生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)
CIF 推出的中試生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備。配置豐富，且真空腔體里可分層，適合大多數(shù)生產(chǎn)場景清洗，活化、刻蝕等應(yīng)用。設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，樣品處理重復(fù)性、一致性好。

產(chǎn)品型號：CPC15/35/80/120/150
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2024-10-25
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CIF材料表面處理儀器

RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī) CIF等離子清洗機(jī) CIF實(shí)驗(yàn)室注射泵透射電鏡樣品桿真空存儲儀 CIF烤膠機(jī) CIF勻膠機(jī) CIF紫外臭氧清洗機(jī) CIF透射電鏡樣品桿清洗機(jī) CIF電鏡等離子清洗機(jī) CIF粉體等離子清洗機(jī)

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詳細(xì)介紹

品牌	CIF	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)。

◆ PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程，手動、自動兩種工作模式。

◆ CIF生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)采用質(zhì)量流量計(jì)，氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻?四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

◆ 采用多孔道進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆ HEPA 高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。

◆ 316 不銹鋼真空艙，潔凈無污染。

◆ 全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)。

◆ 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。

◆ 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，設(shè)備占用空間小。

◆ 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。

◆ 使用成本低、耗損小。

◆ 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，安裝維護(hù)，簡單方便。

◆ 安全保護(hù)，艙門打開，自動關(guān)閉電源。

◆ 機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

CIF生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

型號	CPC15	CPC35	CPC80	CPC120	CPC150
艙體尺寸	W240xH240 xD260mm	W320xH320 xD350mm	W420xH400 xD500mm	W500xH500 xD450mm	W500xH500 xD600mm
艙體容積	15L	35L	80L	120L	150L
艙體材質(zhì)	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼	不銹鋼
有效尺寸	W240xD230mm	W320xD323mm	W420xD468mm	W500xxD420mm	W500xxD565mm
電極分布	2 層	3-4 層	6 層	8-10 層	10-15 層
射頻電源	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz
射頻功率	0-300W	0-300W	0-600W	0-1000W	0-1000W
匹配器	自動匹配器
激發(fā)方式	電容式
電流	1.2A
時(shí)間設(shè)定	9999 秒
氣體穩(wěn)定時(shí)間	1 分鐘
真空度	100pa 以內(nèi)
控制系統(tǒng)	7 寸 PLC 觸摸屏控制
工藝氣體	2 氣路 MFC （可選裝 3 路）
產(chǎn)品尺寸	L625xW600 xH760mm	L625xW600 xH805mm	L905xW845 xH1940mm	L625xW600 xH760mm	L905xW845 xH2010mm
包裝尺寸	L740xW775 xH1000mm	L740xW775 xH1045mm	L1015xW1065 xH2050mm	L1015xW1065 xH2120mm	L1015xW1065 xH2120mm
真空泵	抽速約 8m3/h	抽速 16m3/h	抽速 40m3/h	抽速 60m3/h	抽速約 60m3/h
電源	AC220V 50/60Hz 552W	AC220V 50/60Hz 552W	AC380V 50/60Hz 902W	AC380V 50/60Hz 1302W	AC380V 50/60Hz 1302W
整機(jī)重量	108kg	135kg	465kg	485kg	575kg

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