掃描電鏡等離子清洗機是一款專為掃描電子顯微鏡（SEM）樣品準備而設(shè)計的高效清洗設(shè)備。該機利用等離子體技術(shù)，通過活性氣體的激發(fā)，去除樣品表面的有機污染物和微塵，確保樣品在顯微觀察中的清潔和高質(zhì)量成像。

掃描電鏡等離子清洗機的工作原理主要基于等離子體的化學反應和物理作用。通過高頻電磁場激發(fā)工作氣體，使氣體分子電離并產(chǎn)生高能等離子體。這些等離子體在電場作用下獲得足夠的能量，與周圍的氣體分子發(fā)生碰撞，進一步產(chǎn)生更多的高能活性粒子。這些高能粒子與待處理材料表面進行碰撞，將表面附著的污染物撞擊并脫離表面，從而達到表面清潔的目的。同時，等離子體中的活性粒子與材料表面還可能發(fā)生化學反應，生成揮發(fā)性物質(zhì)，將污染物轉(zhuǎn)化為易于去除的形式，進一步凈化表面。